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为什么电子半导体行业要用超純水設備


在光伏、半導體行業電子管生産中,光伏行業電子管陰極塗甫碳酸鹽。如其使用的水中混入雜質,就會影響電子的發射,進而影響電子管的放大性能及壽命,因此其配液要使用超純水。在電器行業當中最易出現的危險就是漏電,工業上是少不了電器電容的,而且鋁箔及其元器件當中的清洗也是需要使用超純水(去離子水)的,要是水中含有了氯離子,電容器是會出現漏電的。


在顯像管和陰極射線管生産中,其螢光屏內壁用噴塗法或沈澱法附著一層螢光物質,是鋅或其他金屬的硫化物組成的螢火粉顆粒並用矽酸鉀粘合而成,其配置需要使用超純水,如超純水中含铜在8ppb以上,就会引起发光变色,;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪动并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品。在黑白显像管萤光屏生产的12个工序中,破壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗等5个工序需使用纯水,每生产一个晶体管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質,,就會使液晶顯示電路發生故障,影響液晶屏質量,導致報廢、次品。顯像管、液晶顯示器生産對純水水質的要求。


在光伏行業晶體管、集成電路生産中,純水主要用于清洗矽片,另有少量用于藥液配制,矽片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路的産品質量及生産成品率關系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,B、AL、Ga等會使N型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化後的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型矽片上的局部區域變化爲N型矽而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在矽片表面,就會引起電路短路或特性變差。


那么影响电子半导体行业超純水品质又有哪些呢?


1、水源的影響


由于水是一種溶解能力很強的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2,還有膠體(包括矽膠和腐殖質膠體),天然水中還存在大量的非溶解性質,包括粘土、砂石、細菌、微生物、藻類、熱源等。


2、材料的影響


制备超純水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。一些高分子材料,在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂、紫外吸光剂、着色剂,也引入大量的金属、非金属杂质,同时还会带来有机污染。材质的污染主要以污染值来衡量。所谓污染值是指:单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。


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